|
|
LED無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)環(huán)境要求：
潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)以及潔凈室形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求確定。
當(dāng)出現(xiàn)下列情況之一時(shí)，空氣凈化調(diào)節(jié)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：
2 溫濕度基數(shù)和允許波動(dòng)范圍差別大的潔凈室；
3 凈化空調(diào)系統(tǒng)和一般空調(diào)系統(tǒng)；
4 潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱、散濕量相差懸殊的潔凈室；
5 系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
換鞋間應(yīng)設(shè)置不低于10次／h的全室排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口宜設(shè)置在下部；換鞋柜宜設(shè)置局部排風(fēng)措施；一次更衣間宜設(shè)置不低于5次／h的全室排風(fēng)系統(tǒng)。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理，新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施；
2 空氣宜經(jīng)過(guò)粗效、中效、高效過(guò)濾器三級(jí)處理；
3 新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1％。
光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組和干冷卻盤(pán)管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理。
金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置。
循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣。
循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施。
空調(diào)加熱、加濕系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)利于工廠余熱的利用。
凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離排放有害物或可燃物的排氣口。
上技術(shù)夾層凈高應(yīng)按照空調(diào)設(shè)備、管線布置、潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于2m。
發(fā)光二極管生產(chǎn)宜包括外延片生長(zhǎng)、管芯(芯片)制造、管芯(芯片)封裝三部分。
相關(guān)規(guī)范：
GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 51209-2016發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 51110-2015 潔凈廠房施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范
GB 50019-2015 工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范
GB 50243-2016通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范
GB 50016—2014（2018年版）建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范
